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真空泵浦Vacumm Pump介紹

真空泵是製造真空的一種機械裝置,它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收,達到局部空間的相對真空。常見的真空泵有,往復式真空泵、水環泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。

真空泵浦的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型:氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。

氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上,從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

真空在進行抽氣的過程中,通常會經歷以下的階段:

大氣抽至中真空範圍,壓力隨時間之變化為自然對數的衰減,抽氣過程是非常的快速,時間極短。

而當從中度真空進入高真空範圍時,表面吸附性氣體的退吸決定壓力。

最後在高真空範圍時,表面吸附的氣體分子漸被抽盡 。

真空泵浦的分類

依照抽氣方式不同,真空泵浦可歸類為以下幾個分類:

排氣式

  • 正位移式幫浦(positive displacement type)
  • 往復式幫浦
  • 迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump)
  • 動能式幫浦(kinetic energy type)
  • 機械動能傳遞式(turbo-molecular pump)
  • 流體(蒸氣)動能傳遞式(diffusion pump)

貯氣式

  • 吸附式幫浦(surface adsorption type pump)
  • 吸附幫浦(sorption pump)
  • 結拖幫浦(getter pump)
  • 冷凍幫浦(cryogenic pump,簡稱cryo pump)
  • 離子幫浦(ion pump)

選擇真空泵浦需瞭解的規格

  • 抽氣速率:即真空幫浦進行抽氣時的速率大小
  • 氣體選擇性:與幫浦操作原理相關
  • 終極壓力(Ultimate Pressure):
  • 即幫浦能抽到的最低壓力,通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何
  • 排氣口的壓力
  • 泵浦清潔度